事件番号令和5(行ケ)10053
事件名特許取消決定取消請求事件
裁判所知的財産高等裁判所
裁判年月日令和6年6月24日
事件種別特許権・行政訴訟
発明の名称ペリクル膜、ペリクル枠体、ペリクル、その製造方法、露光原版、露光装置、半導体装置の製造方法
事件番号令和5(行ケ)10053
事件名特許取消決定取消請求事件
裁判所知的財産高等裁判所
裁判年月日令和6年6月24日
事件種別特許権・行政訴訟
発明の名称ペリクル膜、ペリクル枠体、ペリクル、その製造方法、露光原版、露光装置、半導体装置の製造方法
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